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熱エンジニアリング

半導体産業に貢献する独自の高性能発熱体と熱コントロール技術
脱炭素を実現する電気加熱で持続可能な未来を創造します

半導体、新素材、液晶などの製造・開発には、精密な熱コントロール技術が欠かせません。リケンNPRグループ(株式会社リケンヒートテクノ、株式会社シンワバネス)は、長年にわたり培った独自の熱コントロール技術を活かし、幅広い分野で高い評価を頂いています。さらに近年では、CO2排出量削減を目指し、燃焼加熱から電気抵抗加熱への置き換えを推進する研究開発をサポートし、カーボンニュートラル社会の実現に貢献しています。

リケンヒートテクノでは、耐久性に優れた金属発熱体「パイロマックス®」や、最高使用温度1800℃を誇るセラミックス発熱体「パイロマックス スーパー®」など、独自の製品をラインナップ。これらを活用し、ヒーターユニット、試験炉、工業炉の設計・製造を手掛けています。
シンワバネスでは、熱解析技術を駆使し、半導体製造装置をはじめとする各種装置のヒーターユニットをカスタマイズ設計・生産し、産業界の多様なニーズに応えています。

独自技術による多彩なヒーターユニットと工業炉の開発を通じて、リケンNPRグループは、技術革新を牽引する産業を力強く支援し、持続可能な未来を創造し続けます。

トピックス

精密な熱コントロール技術
半導体製造装置の高度化に貢献

解析技術を生かした
フロントローディング開発 

カーボンニュートラル
燃焼加熱から電気加熱へ

製品紹介

電熱ラジアントチューブヒーター

発熱体をセラミックスで支持したユニットを耐熱合金製チューブ内に挿入したものです。
炉への設置方向は自由です。特にパイロマックス®PM-Dチューブは耐高温変形性、耐酸化性に優れます。

技術紹介

解析技術を活かしたフロントローディング開発

CAEで早期課題解決と最適設計を実現

ヒーター開発ではCAE(Computer Aided Engineering)を活用し、設計初期段階からの課題抽出=フロントローディングを実践しています。
これにより、試作回数の削減・開発期間の短縮・品質の安定化を同時に実現。ヒーターに求められる「昇温速度」「温度均一性」「断熱設計」「環境配慮(オーバースペック回避)」など、複雑な要求に対しても最適なソリューションをご提案できます。

独自開発の計算ツールでさらに高精度に

豊富な経験とノウハウから構築した熱計算ツールを自社開発し、CAE+自社ツールのハイブリッド解析を実現しています。
設計時間を短縮しつつ、設計間段階から信頼性の高い判断をすることで、フロントローディングをより強力に推進します。

電気加熱によるカーボンニュートラルへの貢献

レトロフィット…既設の燃焼加熱炉を電気加熱炉へ

化石燃料を使う加熱から、電熱ラジアントチューブヒーターによる加熱に切り替えることで、カーボンニュートラルに貢献します。

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